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環境技術新知
半導體晶圓廠應用高效蜂巢式濾材長期監測去除混酸廢氣成果 
2021-07-05
廢棄物 

在台灣的高科技產業,使用大量的酸性(如H2SO4、HF、HCl、HNO3)和鹼性溶劑(如NH3),被廣泛的應用在蝕刻製程的清洗程序。若未經有效處理經由排放管道排至大氣中,這些前驅污染氣體容易發生光化反應,導致光化學霧影響空氣品質。目前台灣環保法規規範洗滌塔對酸氣(鹽酸、氫氟酸、硝酸及磷酸)去除效率應大於95%,總排放量應小於0.6 kg/h,硫酸去除效率應大於95%,總排放量應小於0.1 kg/h。但因目前除酸洗滌塔大部分都無法達到此規範,只能符合法規內的操作條件(pH0.1m3/h、滯留時間>0.5 sec及比表面積>90 m2/m3)當標準,但這容易造成去除效率過低的疑慮。以半導體、光電產業為例,其酸鹼廢氣排放特性是進氣濃度較低但排氣量大,換算成排放量可知對空氣品質的影響甚鉅。在我們先前的研究發現傳統洗滌塔對於處理低濃度的效率遠低於法規的去除率要求,Tsai et al. (2003)發現洗滌塔對於鹽酸、氫氟酸及氨氣的去除效率不佳,當濃度低於650μg/m3時去除效率即低於70%,且進氣中污染物濃度越低,處理效率越差,甚至常無法達到設計去除效率,故此更難符合法規規範的95%去除率。  

因應歐盟永續產品政策-產品碳標籤的下一步 
2021-06-05
其他 

歐盟作為發展環境永續政策之先驅者,2013年4月9日歐盟執委會開始推動「單一市場綠色產品倡議(the Single Market for Green Products Initiative)」,該倡議將從考慮單一環境考量之碳足跡,擴及較完整的環境衝擊指標,擬推出「產品環境足跡(Product Environmental footprint; PEF)」的綠色產品規範,未來歐盟市場將採用一制性方法評估綠色產品,實踐以生命週期評估展現環境衝擊等級的原則,因此「產品環境足跡」這歐盟的專用名詞將成為下一波重要的綠色產品身份證。  

燃煤鍋爐之PM2.5排放減量及視覺污染改善 
2021-05-05
空污 

前言 近年來國內外陸續傳出霾害造成視線不良及人體健康危害事件,如2021年2月入冬以來最嚴重空污籠罩台灣西半部,因能見度大幅下降導致西濱快速道路嚴重車禍,空氣品質指標亦達「紅色警示」(AQI>150),對經濟造成之損失及人體健康之危害難以估計。為改善空氣品質,環保署於民國103年12月1日加嚴電力設施空氣污染物排放標準,以汽力機組而言,粒狀物排放標準依機組別分別為既存20 mg/Nm3及新設10 mg/Nm3;民國104年5月發布固定污染源最佳可行控制技術(Best Available Control Technology, BACT),並針對既存之燃煤程序鼓勵其進行污染防制設備自主改善,以持續降低污染物排放量。 

模範專責人員
鄭景鴻 
空污專責人員
日月光半導體製造股份有限公司二十二廠 
許健茂 
廢水專責人員
漢翔航空工業股份有限公司岡山廠 
夏偉珉 
毒化物專責人員
台灣積體電路製造股份有限公司十二廠六期 
陳榮章 
廢水專責人員
聯華電子股份有限公司Fab8S廠 
張家豪 
廢水專責人員
台灣積體電路製造股份有限公司八廠